纯氧曝气法的构造形式有多种，目前应用较多的是多段加盖式和推流式等。

多段加盖式是工业化最早的形式，也是当前普遍采用的纯氧曝气法的主要形式。依其曝气方式又可分为联合曝气法和表面曝气法两种。

联合曝气法如下图所示。该法一般可分为三段或四段，也有采用五段或六段的。每段均为加盖密闭的完全混合池，各段之间串联，因此从整体看来，又是推流式的。每段池中设有带中空轴的水下叶轮，以打碎氧气泡，并搅拌和提升混合液，另在池盖上设空压机，将池中液面上与池盖下的混合气体压人中空轴，通过轮下的喷嘴装置，进人混合液中循环。

池中氧气(挟带废水中释放出的气体)系由一段流向末端,与废水流向相同,且供氧量也大体与沿程废水的需氧量相适应。进氧压力只需比常压略高即可,约250Pa~1000Pa,以保证外面空气不致渗入,池中废气得以排出。|到末端的排气口处时，由于氧的消耗及处理过程中产生二氧化碳等气体,混合气体的流量减小为进气流量的10% ~ 20% ,其中含氧纯度降低到50%左右。一般第一阶段的空压机转速可以调节,进氧的阀门可根据检测废气中含氧浓度的大小来关闭或开启，以调节供氧量的大小。

表面曝氧法如下图所示。该法将曝气装置改用表面曝气器,或表面曝气器下再加一层叶轮,其他与上述联合式相同,此法设备简单，因此应用较广。

纯氧法也可以是推流式的，推流式采用联合曝氧方式，池加盖密闭，废水从一端进人，经多次折流后，从另一端流出，每一廊道设有若干个中空轴，带动水下叶轮进行搅拌，喷嘴充氧，并用空压机循环氧气。