无声放电法生产臭氧的原理及装置如下图所示。在一对高压交流电极之间（间隙1mm一3mm）形成放电电场，由于介电体的阻碍，只有极小的电流通过电场，即在介电体表面的凸点上发生局部放电，因不能形成电弧，故称之为无声放电。当氧气或空气通过此间隙时，在高速电子流的轰击下，一部分氧分子转变为臭氧，

其反应如下:

O₂→2O；3O→O₃；O₂+O→O₃

上述反应为可逆反应,所以生成的臭氧又会分解为氧气，分解速度随臭氧浓度增大和温度提高而加快。在一定浓度和温度下，生成和分解达到动态平衡。

用无声放电法制备臭氧的电耗理论值为0. 955kW●h/kg O₃，而实际值比理论值大得多。单位电耗的臭氧产率，实际值仅为理论值的10%左右,其余能量均变为热量,使电极温度升高。为了保证臭氧发生器正常工作和抑制臭氧分解,必须对电极进行冷却，常用水作为冷却剂。